PFA透明管在半导体行业的应用优势 江苏

bzh13913944240 2月前 59

PFA透明管用于输送不同的液体和气体,耐受强酸碱及高低温,不同的英制管及毛细管均可加工。应用于石油工业,生物制药,半导体行业等高洁净需求行业。PFA管在半导体制造过程中用于液体和气体输送。在半导体工艺中,许多液体和气体介质需要在高温条件下传输,同时保持高纯度和化学惰性。PFA管由于其非常好的耐高温性能以及对化学腐蚀物的惰性,成为输送化学物质和溶剂的理想选择,如酸碱溶液、溅射源材料、光刻胶和去离子水等。

一、PFA透明管的应用优势:

1.高化学惰性 :高度的化学稳定性能承受所有强酸,包括王水、氢氟酸、浓盐酸、硝酸、发烟硫酸、有机酸等,强碱、强氧化剂、还原剂和各种有机溶剂的作用,应用于各种苛刻流体的输送

2.超高纯度: 材料本身不含塑化剂或添加剂,低的溶出和析出,减少晶圆生产过程中的颗粒污染风险。

3.优异的热稳定性: 长期耐受-200°C至+260°C温度范围,这一特性使其适用于半导体工艺中的高温蚀刻、CVD(化学气相沉积)等环节,避免因温度波动导致管材变形或性能下降。

4.出色的机械性能: 抗拉伸强度高,弯曲寿命长,适合复杂布线环境,同时保持尺寸稳定性。

5.透明可视化 :管壁透光性便于观察流体状态,快速识别气泡、颗粒或流体颜色异常,提升工艺监控效率。

6.表面光滑度 :极低的表面摩擦系数防止颗粒附着,减少流体残留,符合SEMI F57标准对粒子释放的要求。

二、典型半导体应用场景

湿法工艺中的酸液/碱液输送

超纯水分配系统

气体输送管路

化学品供应系统

废液收集管线PFA管3.jpg


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