PFA（全氟烷氧基）气体冲击瓶因其高纯度、耐腐蚀和耐高温特性，广泛应用于半导体行业的气体采样和分析。

PFA气体冲击瓶的特点

• 化学惰性：PFA材料对强酸、强碱和有机溶剂具有极强抵抗力，适合高纯度气体采样。
• 低吸附性：可减少气体分子在瓶壁的吸附，确保采样数据准确性。
• 耐温范围广：通常可承受-200°C至260°C的温度，适用于极端环境。
• 透明性：便于观察瓶内气体状态或液体样品。

半导体行业的具体用途

• 工艺气体监测：用于采集蚀刻、沉积等工艺中的特种气体（如NF₃、SF₆）。
• 洁净室空气分析：检测超净环境中的微量污染物（如VOCs、颗粒物）。
• 尾气处理验证：评估废气处理系统的效率，确保符合环保标准。

选型与使用注意事项

• 容量选择：常见规格为250mL至1L，需根据采样流量和时长确定。
• 密封性测试：使用前需进行氦检漏等测试，避免气体泄漏。
• 清洁方法：建议用高纯氮气吹扫或酸洗（如10%硝酸浸泡），避免交叉污染。