PFA可熔融性聚四氟乙烯由于其优良的化学性能在半导体、地质、生物科技等方面得到广泛应用，如何对PFA器皿进行有效清洁，避免交叉污染，则显得至关重要。

本文所介绍的清洗方法是传统的酸浸泡法，用到的PFA酸缸清洗槽由南京滨正红提供，实验人员可以此方法为基础，结合实验需要进行改善，主要适用于样品前处理痕量金属分析或半导体，新材料实验室。

方法一（一般清洗法 ）1.用纯水仔细冲洗器皿的内外壁，去除表面杂质。2.浸泡在弱碱性洗涤剂中，加热至100℃清洗，去除有机残留。3.清洗后待到冷却之后，再使用纯水仔细清洗。

方法二（超纯净实验器皿清洗）

1.首先用无尘布擦去器皿上浮尘，用自来水反复冲洗器皿内外壁。

2.在干净塑料盆中放入适量自来水，表面活性剂，搅拌均匀放入器皿，充分浸泡清洗之后，用自来水冲洗表面活性剂，再用纯净水反复冲洗器皿。

3.放入洁净的PFA槽中，加入王水放置电热板加热120℃浸煮24小时。

4.再次用纯净水冲洗器皿内外壁3-4次，加入1:1HNO3，120℃浸煮24小时。

5.重复步骤4。

6.使用纯净水冲洗器皿内外壁3-4次，加去离子水MQH2O，120℃浸煮12小时。

7.最后使用去离子水冲洗器皿内外壁3-4次，置于超净台中风干备用。

PFA清洗槽的特性

1、外观半透明，易观察槽内试剂情况；
2、耐高低温：-200～+260℃
3、耐腐蚀：耐强酸、强碱、王水、氢fu酸和各种有机溶剂；
4、耐绝缘：介电性能与温度、频率无关；
5、防污染：本底值低，金属元素铅铀含量小于0.01ppb；
6、低的溶出和析出，不会污染芯片、晶圆、硅片等；
8、化学性能稳定，可恢复性好，不易变形；
9.特氟龙塑料，经久耐用，不易碎